C04600 - SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド StdPbc-0222 このガイドは,SEMIプロセスケミカルまたはガススタンダードおよびガイドに指定された微量不純物に適用される。該当するすべての微量不純物について,校正曲線の回帰分析に基づいて,それぞれの仕様と同等またはそれ以内のMDLを決定すべきである。このガイドはSEMI仕様に対する性能の検証およびSEMIにおける新規仕様の制定の両面への適用を意図している。
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